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Bulk micromachining of SiC substrate for MEMS sensor applications

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Verfasserangaben:Gabriel Vanko, Peter Hudek, Johann Zehetner, Jaroslav Dzuba, Pavlina Choleva, Vladimir Kutis, Martin Vallo, Ivan Ryger, Tibor Lalinsky
DOI:https://doi.org/10.1016/j.mee.2013.01.046
ISSN:0167-9317
Titel des übergeordneten Werkes (Englisch):Microelectronic Engineering
Dokumentart:Wissenschaftlicher Artikel
Sprache:Englisch
Erscheinungsjahr:2013
Datum der Freischaltung:22.11.2018
Freies Schlagwort / Tag:AlGaN/GaN HEMT; Bulk micromachining; Laser ablation; SiC MEMS
Jahrgang:o. Jg.
Ausgabe / Heft:Bd. 110
Erste Seite:260
Letzte Seite:264
Organisationseinheit:Forschung / Forschungszentrum Mikrotechnik
Publikationslisten:Zehetner, Johann