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Single pulse femtosecond laser ablation of silicon – a comparison between experimental and simulated two-dimensional ablation profiles

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Verfasserangaben:Regina Moser, Matthias Domke, Jan Winter, Heinz Huber, Gerd Marowsky
DOI:https://doi.org/10.1515/aot-2018-0013
ISSN:2192-8576
Titel des übergeordneten Werkes (Englisch):Advanced Optical Technologies
Dokumentart:Wissenschaftlicher Artikel
Sprache:Englisch
Erscheinungsjahr:2018
Datum der Freischaltung:01.08.2019
Freies Schlagwort / Tag:femtosecond laser ablation; silicon laser ablation; two-dimensional morphology; two-temperature model
Jahrgang:7. Jg
Ausgabe / Heft:H. 4
Erste Seite:255
Letzte Seite:264
Organisationseinheit:Forschung / Forschungszentrum Mikrotechnik
Publikationslisten:Domke, Matthias