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Monolithically integrated, CMOS-compatible SiN photonics for sensing applications

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Verfasserangaben:Martin Sagmeister, Günther Koppitsch, Paul Muellner, Stefan Nevlacsil, Alejandro MaeseNovo, Rainer Hainberger, Dana Seyringer, Jochen Kraft
DOI:https://doi.org/10.3390/proceedings2131023
Titel des übergeordneten Werkes (Englisch):Proceedings
Dokumentart:Wissenschaftlicher Artikel
Sprache:Englisch
Erscheinungsjahr:2018
Datum der Freischaltung:01.08.2019
Freies Schlagwort / Tag:AWG; OCT; Si3N4 waveguides; optical waveguides; photonics
Jahrgang:2. Jg
Ausgabe / Heft:H. 13: Eurosensors 2018. Graz, Austria. 9-12 September 2018
Organisationseinheit:Forschung / Forschungszentrum Mikrotechnik
Publikationslisten:Seyringer, Dana