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500 Naturwissenschaften und Mathematik
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531 Klassische Mechanik; Festkörpermechanik
532 Mechanik der Fluide; Mechanik der Flüssigkeiten
533 Gasmechanik
534 Schall und verwandte Schwingungen
535 Licht, Infrarot- und Ultraviolettphänomene
536 Wärme
537 Elektrizität, Elektronik
538 Magnetismus
539 Moderne Physik
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Author
Hudek, Peter (1)
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Year of publication
2010
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Article
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Institute
Forschungszentrum Mikrotechnik
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English
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Contact and proximity lithography using 193 nm Excimer laser in Mask Aligner
(2010)
Partel, Stefan
;
Zoppel, Sandra
;
Hudek, Peter
;
Bich, Andreas
;
Vogler, Uwe
;
Hornung, Michael
;
Voelkel, Reinhard
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