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Design and simulation of Si/SiO2/SiN waveguides structure

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Verfasserangaben:Jozef Chovan, Frantisek Uherek, Daniel Figura, Dana Seyringer, Lenka Gajdosova
Titel des übergeordneten Werkes (Englisch):Proceedings of ADEPT. 6th International Conference on Advances in Electronic and Photonic Technologies. Tatranska Lomnica, High Tatras, Slovakia. June 18 - 21, 2018
Verlag:Institute of Electriconics and Photonics, FEI STU
Verlagsort:Bratislava
Herausgeber:Juraj Nevrela, Michal Micjan, Miroslav Novota, Jaroslav Kovac
Dokumentart:Konferenzveröffentlichung
Sprache:Englisch
Erscheinungsjahr:2018
Erste Seite:160
Letzte Seite:163
Organisationseinheit:Forschung / Forschungszentrum Mikrotechnik
Publikationslisten:Gajdosova, Lenka
Seyringer, Dana