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Laser material processing in the ablation-cooled regime: Ablation efficiency and quality using single fs-, bursts of fs-, and single ns-pulses

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Verfasserangaben:Matthias Domke, Sandra Stroj, Victor Matylitsky
DOI:https://doi.org/10.1117/12.2514441
Titel des übergeordneten Werkes (Englisch):Laser Applications in Microelectronic and Optoelectronic Manufacturing (LAMOM) XXIV. 4–6 February 2019. San Francisco, California, United States
Schriftenreihe:Proceedings of SPIE, Volume 10905
Verlag:SPIE
Verlagsort:Bellingham, Washington
Herausgeber:Tetsuya Makimura, Gediminas Raciukaitis, Carlos Molpeceres
Dokumentart:Konferenzveröffentlichung
Sprache:Englisch
Erscheinungsjahr:2019
Datum der Freischaltung:28.01.2020
Organisationseinheit:Forschung / Forschungszentrum Mikrotechnik
DDC-Sachgruppen:600 Technik, Medizin, angewandte Wissenschaften / 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau / 621 Angewandte Physik
Open Access?:nein
Peer Review:wiss. Beitrag, nicht peer-reviewed
Publikationslisten:Domke, Matthias
Stroj, Sandra
Bibliographie, Jahr